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  • 晶圓級點膠機WDS2500

晶圓級點膠機WDS2500

超精密晶圓級封裝點膠,兼容8~12英寸Wafer,重復定位精度±3μm。

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產品詳情 產品特點 應用場合

1、高精度,XY模組采用U形直線電機,重復精度≤±3μm;
2、高穩定性,采用一體式鑄件機構,具有良好的吸震性;
3、全自動,搭載設備前端模塊( EFEM ),可實現晶圓自動上下料。

適用于晶圓級Underfill/ Coating工藝